一、 明確分工：EDI與拋光混床在系統中的角色

在典型的超純水制備流程（如：原水→預處理→RO反滲透→EDI→拋光混床→用水點）中，EDI與拋光混床承擔著不同的任務。

EDI：實現連續深度脫鹽

EDI技術結合了離子交換樹脂與離子選擇性滲透膜的特點，并在直流電場下工作。其特點在于，能夠在無需頻繁使用化學再生劑的條件下，實現連續性深度脫鹽。

它的主要作用是將反滲透（RO）產水的電導率，提升至接近18.2 MΩ·cm@25°C的水平，為后續工藝提供水質基礎。

拋光混床：進行終端離子精制

拋光混床內部填裝有高標準的混合離子交換樹脂，通過離子交換反應，有效去除水中殘留的微量離子。

其核心任務是位于EDI之后，對水質進行終端精制，進一步降低離子含量，并有助于應對系統可能出現的微量水質波動。

二、 協同機制：提升系統運行效能

EDI與拋光混床的協同工作，主要體現在以下幾個方面，共同支持水處理系統的整體效能。

1. 梯度凈化，有助于優化運行

在系統中，EDI作為主力的深度脫鹽單元，承擔了大部分的離子去除負荷。這使得其后的拋光混床所面臨的離子負荷顯著降低。這種分工有助于延長拋光樹脂的使用周期，對減少更換頻率和相關維護工作具有積極意義。

2. 功能互補，支持水質穩定

EDI的連續運行特性為系統提供了穩定的產水基礎。而拋光混床在系統末端，作為一種補償性措施，有助于處理偶然的、微量的水質波動。兩者結合，為整個水處理系統產水的穩定性提供了多一重支持。

3. 技術結合，考慮長期運行

將EDI的連續運行特性與拋光混床的深度精制能力相結合，這種配置在水處理系統設計中是一種常見的技術路線。它著眼于系統的長期穩定運行，綜合考慮了設備特點與運行需求。

三、 總結

在半導體超純水系統中，EDI技術與拋光混床是兩種常見且各具特點的水處理技術。它們的協同工作，并非簡單的疊加，而是基于各自技術特點的功能互補。這種協同機制，為現代高性能水處理系統實現穩定、可靠的運行目標，提供了一種可行的技術路徑。理解二者之間的協同作用，對于水處理系統的設計與運行維護具有參考價值。

（[西安康諾環保科技有限公司] 技術資訊中心 供稿）